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        CMP(指Chemical Mechanical Polishing，即化學(xué)機(jī)械拋光)設(shè)備公司北京晶亦精微科技股份有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“晶亦精微”)在今年1月26日回復(fù)交易所審核中心意見(jiàn)落實(shí)函后，2月5日火速上會(huì)并順利通過(guò)。《經(jīng)濟(jì)參考報(bào)》記者注意到，盡管晶亦精微IPO已過(guò)會(huì)，但該公司在相關(guān)技術(shù)信息表述方面或存在夸大、誤導(dǎo)等瑕疵，此外監(jiān)管部門(mén)還就其12英寸CMP設(shè)備“是否存在突擊確認(rèn)收入”進(jìn)行了問(wèn)詢(xún)。

        技術(shù)信息表述或涉嫌夸大

        公開(kāi)資料顯示，晶亦精微是從事CMP設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售的公司，屬于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，其下游客戶主要是集成電路制造公司。

        晶亦精微近期在其招股說(shuō)明書(shū)(上會(huì)稿)中表示，目前，公司12英寸CMP設(shè)備已在28nm制程國(guó)際主流集成電路產(chǎn)線完成銅(Cu)的工藝驗(yàn)證，已完成6萬(wàn)產(chǎn)品片的穩(wěn)定運(yùn)行，并獲得數(shù)家客戶訂單，已完全掌握12英寸CMP設(shè)備所涉的設(shè)計(jì)、制造相關(guān)技術(shù)，已能夠滿足28nm及以上制程的芯片制造需求。

        不過(guò)，一位不愿具名的半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)家告訴記者，CMP設(shè)備在集成電路制造中的作用，關(guān)鍵在于晶圓表面多種介質(zhì)層的整體平坦化。這其中不僅包括銅工藝，還涉及到非金屬介質(zhì)(例如IMD、Poly、Oxide、SiN等)和其他金屬薄膜(如W、Al等)，以及硅本身的拋光工藝。只有在這些工藝全面驗(yàn)證并通過(guò)后，才能確保滿足特定制程節(jié)點(diǎn)的全面制造需求。

        而記者研讀晶亦精微披露的公開(kāi)信息發(fā)現(xiàn)，公司在28nm制程主流集成電路產(chǎn)線上目前只完成了銅工藝的驗(yàn)證。此外，據(jù)了解，集成電路各個(gè)制程的材料不同以及制程參數(shù)要求不同，對(duì)設(shè)備的要求也不同，鑒于銅工藝本身要求比較高，在28nm制程完成銅工藝的驗(yàn)證僅代表28nm及以上制程的設(shè)備技術(shù)能力合格，而14nm、7nm等28nm以下制程的設(shè)備技術(shù)則需要再驗(yàn)證。

        鑒于此，業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，在僅有銅工藝驗(yàn)證完成的情況下，晶亦精微宣稱(chēng)其“已完全掌握12英寸CMP設(shè)備所涉的設(shè)計(jì)、制造相關(guān)技術(shù)并能夠滿足28nm及以上制程的芯片制造需求”的說(shuō)法有待商榷，其信息披露可能涉嫌存在夸大、不準(zhǔn)確且誤導(dǎo)投資者等問(wèn)題。

        此外，《經(jīng)濟(jì)參考報(bào)》記者注意到，上交所也要求晶亦精微說(shuō)明公司具備的14nm及以下制程12英寸CMP設(shè)備技術(shù)能力，并與華海清科14nm及以下制程CMP設(shè)備技術(shù)進(jìn)行比較。

        晶亦精微回復(fù)表示，14nm制程CMP設(shè)備除在平坦化非均勻性、潔凈度控制和超薄膜厚控制等方面有更高要求外，其他指標(biāo)均沿用28nm制程CMP設(shè)備指標(biāo)要求，此外公司在相關(guān)指標(biāo)方面與華海清科的技術(shù)水平相當(dāng)。晶亦精微進(jìn)一步稱(chēng)，公司與華海清科14nm制程CMP設(shè)備在平坦化非均勻性方面的技術(shù)水平相當(dāng)，但公司相關(guān)技術(shù)尚未在14nm晶圓產(chǎn)線中進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證。而在潔凈度控制方面，公司目前整體處于28nm制程水平，與華海清科14nm制程CMP設(shè)備在顆粒度控制方面的技術(shù)水平相當(dāng)，但尚未在14nm晶圓產(chǎn)線中進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證。在超薄膜厚控制方面，公司與華海清科技術(shù)水平接近，預(yù)計(jì)2024年8月前可以實(shí)現(xiàn)與華海清科相當(dāng)?shù)?4nm制程控制精度水平。

        去年底集中驗(yàn)收4臺(tái)首臺(tái)機(jī)臺(tái)

        值得投資者注意的是，晶亦精微主要以銷(xiāo)售8英寸CMP設(shè)備為主，但由于12英寸CMP設(shè)備的技術(shù)要求更高以及毛利率較高，目前國(guó)際龍頭企業(yè)已基本停產(chǎn)8英寸CMP設(shè)備，國(guó)內(nèi)華海清科也主要生產(chǎn)12英寸CMP設(shè)備。

        不過(guò)，在最新披露的招股書(shū)中，晶亦精微稱(chēng)，公司12英寸CMP設(shè)備(僅能實(shí)現(xiàn)28nm及以上制程工藝)在2023年已經(jīng)完成產(chǎn)品驗(yàn)證并確認(rèn)收入。據(jù)披露，晶亦精微共有4臺(tái)12英寸CMP設(shè)備實(shí)現(xiàn)了收入，均集中在2023年12月下旬完成驗(yàn)收，驗(yàn)收周期從22天到6個(gè)月不等，全部為首臺(tái)機(jī)臺(tái)，平均驗(yàn)收周期為4.75個(gè)月。但招股書(shū)同時(shí)顯示，晶亦精微8英寸CMP設(shè)備首臺(tái)機(jī)臺(tái)的平均驗(yàn)收周期為10.32個(gè)月，比技術(shù)要求更高的12英寸CMP設(shè)備的驗(yàn)收周期還要長(zhǎng)。

        具體來(lái)看，晶亦精微這4臺(tái)12英寸CMP設(shè)備分別銷(xiāo)售給了卓勝微、武漢楚興技術(shù)有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“武漢楚興”)、至微半導(dǎo)體(上海)有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“至微半導(dǎo)體”)和浙江美迪凱光學(xué)半導(dǎo)體有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“浙江美迪凱”)，驗(yàn)收周期分別為7個(gè)月、7個(gè)月、4個(gè)月和22天。

        據(jù)了解，CMP設(shè)備的驗(yàn)收周期主要包括產(chǎn)品驗(yàn)證、驗(yàn)收等環(huán)節(jié)。其中，產(chǎn)品驗(yàn)證環(huán)節(jié)包含裝機(jī)、硬件調(diào)試驗(yàn)證和工藝驗(yàn)證等三個(gè)部分，而工藝驗(yàn)證又進(jìn)一步劃分為工藝調(diào)試驗(yàn)證、硬件穩(wěn)定性及工藝穩(wěn)定性長(zhǎng)期驗(yàn)證兩個(gè)步驟。產(chǎn)品驗(yàn)證通過(guò)的標(biāo)志為完成上述所有步驟，確認(rèn)設(shè)備在客戶端的應(yīng)用滿足客戶對(duì)產(chǎn)品厚度、缺陷、電性、良率的規(guī)格需求。最終，通過(guò)收入確認(rèn)后即完成整個(gè)驗(yàn)收周期，而收入確認(rèn)需滿足的條件為取得客戶出具的驗(yàn)收單。

        監(jiān)管關(guān)注“是否存在突擊確認(rèn)收入”

        記者注意到，交易所也對(duì)晶亦精微披露的驗(yàn)收周期存在疑問(wèn)，要求公司進(jìn)一步說(shuō)明12英寸CMP設(shè)備驗(yàn)收周期較短的原因，并解釋與同行可比公司以及客戶同類(lèi)產(chǎn)品的其他供應(yīng)商相比是否存在重大差異。

        《經(jīng)濟(jì)參考報(bào)》記者梳理問(wèn)詢(xún)回復(fù)報(bào)告后發(fā)現(xiàn)，在談及與同行可比公司相比時(shí)，對(duì)銷(xiāo)售給至微半導(dǎo)體和浙江美迪凱的12英寸CMP設(shè)備，晶亦精微均直接表示“無(wú)法進(jìn)行比較”，前者是因?yàn)楫a(chǎn)品系“該應(yīng)用領(lǐng)域首臺(tái)”，后者是因?yàn)?ldquo;該領(lǐng)域一般不使用CMP設(shè)備，用CMP工藝進(jìn)行相關(guān)產(chǎn)品的生產(chǎn)，創(chuàng)新性較強(qiáng)，暫無(wú)其他同類(lèi)產(chǎn)品”;對(duì)銷(xiāo)售給武漢楚興的12英寸CMP設(shè)備，則未就此進(jìn)行解釋。此外，針對(duì)銷(xiāo)售給卓勝微的12英寸CMP，晶亦精微表示，相比華海清科銷(xiāo)售給IDM模式客戶英特爾半導(dǎo)體(大連)有限公司的首臺(tái)12英寸CMP的驗(yàn)收周期8個(gè)月，公司縮短了1個(gè)月。

        在回復(fù)“與客戶同類(lèi)產(chǎn)品的其他供應(yīng)商相比是否存在重大差異”時(shí)，晶亦精微表示，公司銷(xiāo)售給卓勝微和武漢楚興的12英寸CMP設(shè)備，不存在重大差異;至微半導(dǎo)體來(lái)自其他供應(yīng)商的相關(guān)設(shè)備驗(yàn)收周期長(zhǎng)于晶亦精微產(chǎn)品，原因系其采購(gòu)用于晶圓再生的CMP設(shè)備數(shù)量較少;浙江美迪凱則因“國(guó)內(nèi)暫不具有其它同類(lèi)產(chǎn)品在此領(lǐng)域的應(yīng)用”而無(wú)法比較。

        不過(guò)，《經(jīng)濟(jì)參考報(bào)》記者注意到，晶亦精微披露了浙江美迪凱首臺(tái)機(jī)臺(tái)各個(gè)驗(yàn)證階段的具體日期。具體來(lái)看，該設(shè)備在裝機(jī)上僅花了2天，在硬件調(diào)試上也僅耗時(shí)2天，整個(gè)驗(yàn)收周期短至22天，甚至遠(yuǎn)低于晶亦精微向其銷(xiāo)售的首臺(tái)6/8英寸CMP設(shè)備所花費(fèi)的3個(gè)月驗(yàn)收周期。晶亦精微對(duì)此解釋稱(chēng)，當(dāng)時(shí)因?yàn)檎憬赖蟿P在產(chǎn)線首次引入CMP設(shè)備，驗(yàn)證程序較為簡(jiǎn)單，驗(yàn)收周期較短。

        一位半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)人士表示，晶亦精微銷(xiāo)售給浙江美迪凱的12英寸CMP設(shè)備的首臺(tái)機(jī)臺(tái)驗(yàn)收周期，與行業(yè)普遍周期存在一定的差異。一般來(lái)說(shuō)，僅裝機(jī)和硬件調(diào)試就至少需要3-4周的時(shí)間，然后才能進(jìn)入工藝驗(yàn)證的環(huán)節(jié)。而晶亦精微在短短4天內(nèi)便完成了這些步驟，不太符合行業(yè)慣例。

        晶亦精微對(duì)此解釋稱(chēng)，客戶浙江美迪凱的建設(shè)需求時(shí)間較為緊迫;客戶購(gòu)買(mǎi)公司設(shè)備主要應(yīng)用于非硅基晶圓材料制造，對(duì)于CMP技術(shù)的需求與硅基晶圓相比較低;在客戶端進(jìn)行產(chǎn)品驗(yàn)證前，公司已在公司的生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)進(jìn)行充分準(zhǔn)備。

        耐人尋味的是，為了佐證自己的12英寸CMP設(shè)備的首臺(tái)機(jī)臺(tái)驗(yàn)收周期具有合理性，晶亦精微專(zhuān)門(mén)披露了華海清科也存在4臺(tái)驗(yàn)證周期短的首臺(tái)機(jī)臺(tái)的信息。但《經(jīng)濟(jì)參考報(bào)》記者綜合華海清科招股書(shū)及公開(kāi)資料研究發(fā)現(xiàn)，華海清科在IPO報(bào)告期(指2019年、2020年和2021年)內(nèi)共銷(xiāo)售了65臺(tái)12英寸CMP設(shè)備，其中驗(yàn)收周期較短的首臺(tái)機(jī)臺(tái)只有4臺(tái)，亦即晶亦精微專(zhuān)門(mén)羅列的4臺(tái)首臺(tái)機(jī)臺(tái)。但其中，2臺(tái)是8英寸CMP設(shè)備，不適合與12英寸CMP設(shè)備的驗(yàn)證周期進(jìn)行比較;1臺(tái)12英寸CMP設(shè)備僅用于某大學(xué)研發(fā)，不涉及生產(chǎn)線產(chǎn)品驗(yàn)證;另1臺(tái)12英寸CMP設(shè)備應(yīng)用于MRAM生產(chǎn)線，技術(shù)工藝要求相對(duì)較低。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，晶亦精微專(zhuān)門(mén)羅列的華海清科4臺(tái)首臺(tái)機(jī)臺(tái)不具有代表性，對(duì)其設(shè)備驗(yàn)證周期較短的問(wèn)題也不具有說(shuō)服力。

        值得投資者關(guān)注的是，基于驗(yàn)收周期短等因素，交易所又進(jìn)一步就4臺(tái)12英寸CMP設(shè)備“是否存在突擊確認(rèn)收入”的問(wèn)題對(duì)晶亦精微進(jìn)行了問(wèn)詢(xún)。對(duì)此，晶亦精微回復(fù)表示，相關(guān)產(chǎn)品“不存在突擊確認(rèn)收入情形”，主要原因包括三個(gè)方面：相關(guān)客戶已履行自身驗(yàn)收流程，并出具驗(yàn)收單;公司與相關(guān)客戶的業(yè)務(wù)合作發(fā)生具有合理的商業(yè)背景，驗(yàn)收周期較短的原因客觀合理，符合行業(yè)特點(diǎn)及業(yè)務(wù)實(shí)質(zhì);根據(jù)公司對(duì)相關(guān)客戶的訪談確認(rèn)，公司產(chǎn)品已投入生產(chǎn)使用，相關(guān)客戶按相應(yīng)流程進(jìn)行驗(yàn)收，不存在對(duì)于產(chǎn)品驗(yàn)收時(shí)間的爭(zhēng)議，不存在產(chǎn)品實(shí)際未驗(yàn)收但公司要求出具項(xiàng)目驗(yàn)收證明而提前驗(yàn)收的情況。

        對(duì)于晶亦精微IPO存在的問(wèn)題，《經(jīng)濟(jì)參考報(bào)》將持續(xù)予以關(guān)注。

《電鰻快報(bào)》